半导体无尘室设计规范
第一章 总则
第1．0．1条 洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术
先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。
第1．0．2条 本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用
于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规
定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根
据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运
行创造必要的条件。
第1．0．5条 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标
准、规范的有关要求。
第二章 空气洁净度等级
第2．0．1条 空气洁净度应按表2．0．1规定划分为四个等级。
空气洁净度 表2．0．1
等级 每立方米（每升）空气中≥0.5微米尘粒数 每立方米（每升）空气中≥5微米尘粒数
100级 ≤35×100（3.5）
1000级 ≤35×1000（35） ≤250（0.25）
10000级 ≤35×10000（350） ≤2500（2.5）
100000级 ≤35×100000（3500） ≤5000（25）
注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采
样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的．
第2．0．2条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒
数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章 总体设计
第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置
第3．1．1条 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比
较后确定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的
工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，如不能远离严重
空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；
三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。
第3．1．2条 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定
周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行
分析比较。
第3．1．3条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之
间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
第3．1．4条 洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。
第3．1．5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路）。如
有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。
第3．1．6条 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材新。
第3．1．7条 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓
度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区，但不得妨碍消防操作。
第二节 工艺布置和设计综合协调
第3．2．1条 工艺布置应符合下列要求：
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有
空气洁净度等级要求的工序和工作室；
二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空
气调节机房；空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置；靠近洁净区入口
处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧易产生污染的工艺设
备应布置在靠近回风口位置；
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口；
五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必
须进行清洁处理。
第3．2．2条 洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔：
一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，
或有防火分隔要求者；
二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采
取局部措施加以控制者；
三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。
第3．2．3条 洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料
净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、
气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。
第3．2．4条 洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和坚向标高。
第3．2．5条 洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、
各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求
第三节 噪声控制
第3．3．1条 洁净室内的噪声级，应符合下列要求：
一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪
声级不应大于65分贝A。
注：①由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声
级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；
②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于
变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
第3．3．2条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压
级值不宜大于表3．3．2的规定。
噪声频谱限制 表3．3．2
倍频程＼中心频＼高声＼率洁净＼压值＼（赫）室分类＼（分贝） 63 125 250 500 1000 2000 4000 8000
空态 乱流 79 70 63 58 55 52 50 40
层流 83 74 68 63 60 57 55 54
动态 87 78 72 68 65 62 60 59
第3．3．3条 洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护
结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。
第3．3．4条 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超
过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。
第3．3．5条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、
隔振等控制措施。
除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜
按下列规定选用：
一、总风管为6--10米／秒；
二、无送、回风口的文风管为6～8米／秒；
三、有送、回风口的文风管为3～6米／秒。
第3．3．7条 洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要
求，不用因控制噪声而影响洁净室的净化条件。
第四节 微振控制
第3．4．1条 洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备（包括水泵
等）及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。
第3．4．2条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动
影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、
精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的田振措施。
第3．4．3条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、
保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气温进
行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
第四章 建筑
第一节 一般规定
第4．1．1条 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁
净区的主体结构不宜采用内墙承重。
第4．1．2条 洁净室的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。
第4．1．3条 洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，
并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。
厂房变形缝应避免穿过洁净区。
第4．1．4条 送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹
道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。
第4．1．5条 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构
造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。
第二节 人员净化和物料净化设施
第4．2．1条 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根
据需要设置生活用室和其他用室。
第4．2．2条 人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣
室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。
厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，
可根据需要设置。
第4．2．3条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：
一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按
设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。
四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。
五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。单人
空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改
设气闸室。
洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。
第4．2．4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，
一般按图4．2．4的人员净化程序进行布置。
第4．2．5条 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人
员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每
人4～6平方米计算。
第4．2．6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。
